Mikroelektronika směřuje k nanoelektronice – 2. část

Úvod

Realizace mikro (nano) součástí a mikro (nano) systémů se zmenšujícími se rozměry využitelnými v průmyslu, spotřební elektronice, lékařských aplikacích nebo v komunikacích a informatice umožnil výrazný rozvoj mikrotechnologií. Technologie umožňují použití různých typů mikrostruktur a materiálů včetně polymerů nebo kovů pro realizaci akcelerometrů, gyroskopů, mikromanipulátorů, optických přepínačů nebo např. tryskových hlav pro tiskárny. Tlakové senzory, tiskové hlavy, optické přepínače, křemíkové piezoodporové tlakové senzory, kapacitní tlakové senzory používané např. pro měření on-line tlaku v pneumatikách i osobních automobilů a další lze zahrnout mezi hlavní komerčně využitelné aplikace. Mezi širokou nabídku aplikací mikrosystémových výrobků lze zařadit senzory chemických veličin, senzory plynů, IR senzory a řady, aplikace pro vesmírný výzkum, aplikace pro realizace pikosatelitů, magnetická záznamová média pro vývoj superkompaktních magnetických disků s ultra vysokou záznamovou hustotou apod. Mikroposuvy, přesné nastavování polohy, sondy, atd. jsou používány pro realizaci mikropřístrojů a mikromanipulátorů určených pro manipulaci s mikroobjekty s mikrometrovými rozměry, například stojan pro STM (Scanning Tunneling Microscope), AFM (Atom Force Microscopy). Nejvíce využívané mikrosystémové produkty lze nalézt v následujícím přehledu.

ZOBRAZIT CELÝ ČLÁNEK