MEMS technologie umožňují realizovat mikroelementy a deformovatelné členy mikroaktuátorů, např. mikronosníky, membrány, mikromůstky nebo torzní struktury. Deformovatelné členy se využívají ke konstrukci různých částí mikroaktuátorů. MEMS technologie umožňují významnou mikrominiaturizaci těchto prvků a tím i celých systémů s dosažením kvalitativně nových vlastností. Při miniaturizaci je s výhodou nutné brát v úvahu skutečnost, že některé jevy obvyklé v makroměřítku neplatí nebo mají sníženou platnost v mikroměřítku. Například setrvačnost se mění se třetí mocninou, zatímco tření se mění jen s druhou mocninou rozměru. Při miniaturizaci často nejméně důležitý faktor v makroměřítku získá převládající vliv v mikrosystému. Použití křemíku pro realizaci mikroaktuátorů umožňuje využití mikroelektronických technologií, monokrystal křemíku má výborné mechanické vlastnosti, malou hmotnost, je pevný a pružný jako ocel.